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測定器開発室セミナー
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| 日時: |
2010-10-01 15:00 - 16:00 |
| 場所: |
4号館3階会議室 |
| 会議名: |
TCADによる半導体デバイスの理解 |
| 連絡先: |
新井/4335 |
| 講演者: |
福田浩一氏 (産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター) |
| 講演言語: |
日本語 |
| アブストラクト: |
Technology CAD(TCAD)は半導体デバイス内部の物理現象を理解する上で強力なツールである。TCADの中核技術、プロセス・デバイスシミュレーションの概要・動向を紹介した後、適用例を通じて難しい側面や結果の解釈について論じる。
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