| アブストラクト: |
高エネルギー・原子核およびその関連分野の測定器に関しても、その性能は使用されている半導体デバイス（LSI）の性能で決まっている。また、LSIは信号処理をする回路ばかりではなく、センシングデバイスそのものとしても用いられている。
本講演においては、LSI製造方法について標準となるロジックプロセスを基に平易に且つ詳細に解説する。さらに、各プロセスステップでどのように工程が管理されているかを紹介していく。これらLSI製造に関する基礎知識により、回路設計という観点ばかりでなく、LSIデバイスそのものにも踏み込む今後の測定器開発の一助になることを期待する。 |
