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ナノスケールでの地球外物質の分析法の一つに走査透過型電子顕微鏡(STEM)とX線分光分析器(EDS)を組み合わせた分析装置がある。従来のX線分光装置では、近接する元素の特性X線を分離するエネルギー分解能が不十分であり、エネルギー分解能を大幅に改善するために超伝導遷移端(TES)型X線マイクロカロリメータをインハウスで製作し、製作した素子をEDSとして搭載し実際にサンプル分析を行なってきた。現在では、TESカロリメータを地上実験へ応用するために様々デザインのTESカロリメータの開発を行なっている。