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BL-11D: 軟X線光学素子評価装置用ステーション

概要

ビームライン群  第1分科(光電子分光)
主な手法
  • 反射率測定
  • オージェ電子―光電子コインシデンス分光
特徴
  • 60-900 eVで水平直線偏光が利用可能です。
  • 反射率計が常設されています。
  • オージェ電子―光電子コインシデンス分光装置が利用できます。
  • 持ち込み装置を設置して実験できます。
主な研究分野
  • 光学素子評価,軟X線検出器評価
  • 表面科学
担当者
  • 間瀬 一彦 mase★post.kek.jp
  • メールアドレスは★を@に変えてご利用ください。
備考
  • 類似のエネルギー領域をカバーする他のビームライン(アンジュレータ:BL-2A/B, 13A/B,16A, 19A/B,28A/B 偏向電磁石:BL-7A, 11A)との使い分けが有効なので,担当者にご相談ください。

スペック

光源
  • 2.5GeV PFリング 偏向電磁石(B11)
光学系
  • 可変偏角等刻線間隔球面回折格子分光器(入射スリット,集光鏡,平面鏡,等刻線間隔球面回折格子,出射スリット)
  • 後置集光鏡(垂直楕円ミラー,水平楕円ミラー)

エネルギー範囲
  • 200–900 eV (G1), 60-245 eV (G3)
エネルギー分解能(ΔE/E)
  • 1/2000(G3, Slits 200 μm × 100 μm 時)
ビームサイズ
  • 反射率計試料位置にて 1 mm (H) x 0.1 mm (V) 程度
ビーム強度
  • 1.2 × 1010 photons/s(G3, Slits 200 μm × 100 μm, 130 eV)

公開している装置
  • 反射率計
    入射角は5度から89度までの反射率測定が可能。入角度分解能は0.1度以下での測定が可能。サンプルステージには最大200mmφの試料を載せることが可能。小さな試料を複数個載せることも可能。到達真空度は1x10‐5 Pa以下。

  • オージェ電子―光電子コインシデンス分光装置
    反射率計をBL-10側にスライドしてビームダクトを設置すると、反射率計架台の下流にオージェ電子―光電子コインシデンス分光装置を設置できます。詳細は担当者までお問い合わせください。

検出器
  • 軟X線検出器(SXUV100)
リモート/メールイン測定
  • 不可
特記事項
  • 持ち込み装置:可,BL接続部の推奨圧力は<10-6 Pa

参考文献

  1. Photon Factory Activity Report 1997, 15, A101 (1997), https://www2.kek.jp/imss/pf/science/publ/acr/archive/PF_Act_Rep_1997_15XRA.pdf : [ビームライン]

成果一覧

KEK放射光共同利用実験研究成果データベース(BL-11Dの成果)

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Last updated: 2021-9-30